微区分析

设备型号:ARM200F
设备厂家:日本电子(JEOL)
主要规格及技术指标:加速电压80/200 kV,放大倍率20k-50M倍。
主要功能及特色:TEM、SAED、STEM(HAADF、ABF)、EDS能谱元素分析。冷场发射电子枪光源能量发散度小,相干性好。ASCOR球差校正器可以提供小于0.07 nm的束斑,使得分析速度和质量飞跃性提高。STEM HAADF分辨率: 0.0784 nm(200 kV),0.111 nm(80 kV)。